原理：运用钢制或金属制的探针，在必定的压力下，对工件标明上进行扫描。当探针在被测外表移动时，触针会跟着外表的微观崎岖而上下移动，这种位移改变经过传感器转化为电信号。电信号经过扩大、运算处理等进程后，再转换成数字信号储存在核算机体系中。核算机对原始外表概括进行数字滤波，别离掉外表粗糙度成分后进行核算，终究得出契合某种曲线的实践值及其离基准点的坐标，或许得到扩大的实践概括曲线。
举例：比方常用的SJ5800高精度探针式概括仪，经过上述进程可丈量出轴承内外侧等零件的外表粗糙度和概括。
原理：使用干与原理丈量光程之差然后测定有关物理量。两束相干光间光程差的任何改变会活络地导致干与条纹的移动，而某一束相干光的光程改变是由它所经过的几许旅程或介质折射率的改变引起。所以经过干与条纹的移动改变可丈量几许长度或折射率的细小改变量，以此来取得被测外表的描摹信息，从而测得外表的粗糙度。
举例：SuperView W1光学3D外表概括仪（白光干与仪）可用于评价物体外表的粗糙度。
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